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신기방기 EUV 장비에서 사용되는 기술
이 글보고 문득 생각나서 써보는 글임반도체 장비 기업 ASML은 누구나 한번쯤 들어보았을 것이다이 기업이 반도체 업계에서 슈퍼 을로 통하고 있다는데 그 이유는 바로 EUV장비를 여기에서 밖에 만들지 못하기 때문임EUV(Extreme UltraViolet) 장비는 이름 그대로 극자외선을 이용하는 장비인데그 EUV를 이용해서 원하는 회로패턴을 웨이퍼에 새기는 작업을 함최첨단 반도체 생산을 위해서 반드시 필요한게 EUV장비인데 그걸 ASML이 독점생산하고 있으니아무리 비싸고 만드는데 오래걸려도 반도체 기업들이 줄을 서서 사려고 하는 것임근데 그렇게 중요한 장비라면 왜 다른 기업에서 만들려고 하지 않는 것일까?EUV 장비에서 사용하는 신기한 기술들 몇개를 보면서 그 이유를 알아보자1. 광원 생성EUV를 이용하는 장비이니 당연히 EUV를 생성하는 기능이 있다.하지만 EUV는 13.5nm로 굉장히 짧은 파장을 가지는데이런 빛을 만들기 위해서는 독특한 방법이 필요하다바로 주석(Sn)을 플라즈마화 시키는 것이다.위 움짤을 보면 움직이는 주석 방울에 레이저가 두번 맞는걸 볼 수 있다초속 70미터의 속도로 융용 주석 방울이 발사되면그걸 첫번째 저강도 레이저가 맞혀서 주석 방울을 넓게 퍼뜨려 평평하게 만든다그리고 두번째 고강도 레이저가 맞혀서 주석을 플라즈마로 만들고 EUV를 방출시킨다그리고 이 과정을 초당 5만번 반복한다이렇게 만들어진 빛은 거울로 모아서 웨이퍼로 향하는 광학계로 보내진다2. 광학계EUV 장비 속 광학계, 위에서 움직이는 게 레티클, 아래에서 움직이는게 웨이퍼다EUV의 특성상 극도로 흡수가 잘되기 때문에 광학계에 렌즈는 거의 사용하지 못하고주로 흡수율이 낮은 특수한 거울만든다물론 공기에도 흡수되기때문에 내부는 진공임이 광학계의 정확도는 지구에서 쏜 빛으로 달에 있는 100원 동전을 맞힐 수준이다3.레티클(마스크)레티클, 마스크라고도 하는데 회로패턴이 새겨진 유리판이다일반적인 마스크는 투과형으로 빛이 통과하면서 그 패턴을 가져가는데EUV는 흡수가 되기때문에 마스크도 반사형으로 만들어야한다이 레티클은 빛의 간섭을 이용하는 다층 반사기로 패턴을 구현하였으며레티클을 움직이는 레티클 스테이지는 최고속력 3.2m/s의 관성을 완벽히 상쇄하며웨이퍼 스테이지와 완벽히 동시에 움직여 그 패턴을 새긴다동시에 두 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 스테이지,진공상태를 유지하는 배기시스템이나 온도를 관리하는 쿨링시스템 등그 외 여러가지 기술들이 있지만EUV에서 사용하는 기술들 말고도 ASML이 사용하는 신기한 기술들은 또 있다움직이는 웨이퍼와 렌즈 사이의 공기층을 물로 채워 노광작업을 진행시키는 액침노광기술(공기보다 높은 굴절률을 이용해서 더 좋은 해상도를 구현한다)4096개의 미세거울을 컨트롤해서 렌즈없이 원하는 조명패턴을 만들어내는FlexRay기술등이 있다(간섭패턴에 영향을 줘서 빛의 세기를 높일 수 있음)
작성자 : ㅇㅇ고정닉
오늘자 국힘 낙선자 총회 어록
- 관련게시물 : 진중권 "대통령, 정치적 자산인 '공정' 이 무너져 총선 참패"- 관련게시물 : 안철수"총선패배는 한동훈 아닌 대통령탓"22대 총선을 치른 지 9일이 지난 19일 국회 본청 246호에선 국민의힘 원외조직위원장 간담회가 열렸다. 총선에서 떨어진 120여명이 참석했다. 당 개선방향을 듣기 위해 윤재옥 원내대표 겸 당 대표 권한대행이 마련한 자리였다. 오전 10시부터 오후 1시까지 36명이 연이어 발언했고, 듣는 이들도 웃음기 없는 얼굴에 입술을 꾹 다문 채 앉아있었다. 서로 얼싸안고 미소를 머금은 채 당선을 자축했던 16일 당선인 총회와는 분위기가 전혀 달랐다. 서울 중성동갑 윤희숙 "돌이켜보면 갑자기 지지율이 휘청하는 순간이 있었다." "이종섭 전 호주대사와 대파 논란이 각각 불거졌을 때인데 그때 당은 아무런 수습도 안 하지 않았느냐." 서울 강서갑 구상찬 “중앙선대위에 네거티브 대응팀이 없다 보니, 각종 논란에도 즉각적인 대응을 못 해 여론이 악화했지 않았느냐 ” 일부 인사 “여의도연구원이 자체 여론조사를 한 번도 우리에게 알려준 적이 없다. 그게 있었다면 선거전략을 수정했을 것” 서울 광진을 오신환 “이준석 대표가 당 대표에서 쫓겨나는 과정이나 전당대회 과정에서의 비민주성 등이 누적되면서 심판받은 게 아닌가 생각한다.” 경기 화성을 한정민 “시민들이 ‘대통령실은 왜 그 모양이냐’고 따져 물을 때가 많았는데 그때마다 ‘죄송하다’고 답할 수밖에 없었다.” “유세 기간 내내 사죄만 하다가 끝난 선거” 서울 광진갑 김병민 “4년 전 처절한 반성을 바탕으로 2021년 서울·부산시장 보궐선거와 2022년 대선·지선을 이길 수 있었다.” “그 정도의 처절함이 없다면 다음 지선과 대선을 질 수밖에 없다.” 인천 연수을 김기흥 “이재명·조국 같은 사람에게조차 우리가 패배했다. 그런 상황을 만든 것에 국민께 정말 죄송하다.” “우리는 진심으로 잘못했다고 국민께 사죄해야 한다”며 5분 남짓한 발언 시간 내내 펑펑 울음 경기권 낙선자 “만약 제가 가족만 없다면 자결했을 정도로 참담하다.” 호남권 낙선자 “패배감에 빠질 필요도 없고 대통령을 비난할 이유도 없다.” 서울 강동을 이재영 "며칠 전 당선인 총회는 화기애애했다는 얘길 듣고 억장이 무너졌다. 과연 이게 맞는 거냐." “총선 패배로 윤심·당심과 민심 사이에는 괴리가 있다는 게 증명됐다.” “민심을 반영하기 위해 당원 대 일반여론조사 비율을 7대3, 5대5 정도로 바꿔야 한다.” 서울 동대문갑 김영우 “‘혁신형 비대위’를 통해 야당의 파상 공세를 막아내고 민생입법을 챙겨야 한다.” “관리형 비대위로 가서는 차기 전당대회가 지난번처럼 ‘윤심’ 논란으로 번질 수 있다.” 한 참석자 “사과를 한들 민심이 돌아오겠느냐. 행동으로 달라진 모습을 보여야 하는데 오늘 나온 말들이 다 허투루 지나갈까 우려스럽다.” https://n.news.naver.com/mnews/article/025/0003355263 - 윤두창 이거 보니 진짜 총선승리에 관심 없었네오로지 한동훈 견제할 생각만 가득차서온갖 트롤짓 다한거구나 - "대파논란 왜 대응 안했나""참담"…與 낙선120명 분노 터졌다https://n.news.naver.com/mnews/article/025/0003355263?sid=100 "대파 논란 왜 대응 안했나" "참담"…與 낙선 120명 분노 터졌다“대파 논란이 불거졌을 때 우리는 속절없이 꺾였다. 그때 당은 무엇을 했나.”(윤희숙 전 의원) “며칠 전 당선인 총회는 화기애애했다는 얘길 듣고 억장이 무너졌다. 과연 이게 맞는 거냐.”(이재영 전 의원) 22대 n.news.naver.com대통령실에 대한 성토도 이어졌다. 서울 광진을에서 낙선한 오신환 전 의원은 “이준석 대표가 당 대표에서 쫓겨나는 과정이나 전당대회 과정에서의 비민주성 등이 누적되면서 심판받은 게 아닌가 생각한다”고 했다. 경기 화성을에서 패배한 한정민 전 후보는 “시민들이 ‘대통령실은 왜 그 모양이냐’고 따져 물을 때가 많았는데 그때마다 ‘죄송하다’고 답할 수밖에 없었다”며 “유세 기간 내내 사죄만 하다가 끝난 선거”라고 토로했다. - dc official App- 與 낙선자 120여명 모여 총선 참패 원인·수습책 논의[서울=서울미디어뉴스] 양혜나 기자 = 4·10 총선에서 국민의힘 후보로 출마했다 패배한 원외 조직위원장들이 19일 총선 참패 원인과 당 수습 방안에 대한 다양한 의견을 쏟아냈다.이날 오전 국회에서 오전 10시부터 3시간 넘게 진행된 원외 조직위원장 간담회에서 총선 참패 원인으로 '수직적 당정관계' 속 대통령실의 당무 개입, '이·조(이재명·조국) 심판론'을 앞세운 선거 전략 실패 등이 지목됐으며, 당 수습책으로는 관리형이 아닌 혁신형 비상대책위원회 출범, '당원 투표 100%'인 지도부 선출 규정 개정, 수도권 중심 정당으로의 변모 등이 제기됐다.총 120여명이 참석해 김영우(서울 동대문갑)·오신환(서울 광진을)·이재영(서울 강동을) 전 의원 등 40명가량이 차례로 발언했다.이들은 총선 참패 원인으로 대통령실 책임론, 수직적 당정관계 등을 주장했다.오신환(서울 광진을) 전 의원은 "용산과의 관계, 지난번 이준석 대표가 당 대표에서 쫓겨나는 과정, 또 지난 전당대회 과정에서의 비민주성 등 여러 부분들이 집권 이후 당과 용산과의 관계 속에 벌어진 일이기 때문에 이런 부분이 결과적으로 누적되고 쌓였고 국민들에게 이번에 심판받은 게 아닌가 생각한다"고 말했다.손범규 전 후보도 "패인을 용산을 빼놓고 얘기할 수 없다는 데 대부분 동의했다. 지역에서 뛴 분들 대부분은 '지역 민심이 결정적으로 선거전 막판에 그렇게 된 건 남 탓하는 건 아니지만 그 이유가 가장 컸다'는 것"이라며 "그런데 그 이유가 나오기까지 전혀 당과 용산 간에 소통이 없었던 것 아니냐는 얘기를 많이 하고 있다"고 했다.호준석(서울 구로갑) 전 후보는 "민심이 당심이 되고, 당심이 윤심(윤석열 대통령 의중)이 되는 구조가 돼야 한다, 이번 선거에 대해 용산이 성찰해야 한다는 참석자 발언이 있었다"고 전했다.김준호(서울 노원을) 전 후보는 "황상무 수석이나 이종섭 대사 사건 이후로는 그 때부터는 저를 노원구 을의 김준호로 바라보는 게 아니라"며 "어떤 몇몇분들이 이 말씀을 했다. '대통령실, 너네 당을 볼 때 너를 절대 찍어줄 수 없다', '젊은 후보가 올바른 이야기하니까 찍어주고 싶은데, 차마 이번에 표가 안 갈 것 같다. 미안하지만 다음에 다시 나오라'더라"고 개탄했다.그러면서 "송사리가 아무리 열심히 헤엄을 쳐도, 고래가 잘못된 꼬리짓을 하면 송사리는 다 죽어나갈 수밖에 없다"고 강조했다.향후 당의 위기 수습과 재건 과정에 대해 '수도권·원외'가 당에서 중심적인 역할을 해야 한다는 의견이 나왔다.호 전 후보는 "수도권에서 석패한 3040 젊은 낙선자들한테 기회를 줘야 수도권 정당으로 갈 수 있고 민심을 받들 수 있는 정당이 되는 것"이라며 "적당히 해도 이길 수 있는 지역들, 그 지역 인사들이 당의 정책과 메시지를 주로 결정하는 구조가 돼선 안 된다는 발언이 있었다"고 소개했다.오 전 의원은 "지금과 같은 민심의 괴리가 지금과 같은 영남 중심의 지도부가 느끼는 민심하고는 너무나 차원이 다르기 때문에 그냥 상식적인 수준에서의 변화, 혁신 정도로는 당의 미래를 계획하기는 어렵다"고 단정 지었다.김 전 후보도 "민심의 바로미터가 되는 것이 수도권이기 때문에 수도권 지도부가 입성하는 게 어느 정도 필요한 부분이다. 너무 영남에 치중되어 있던 것도 사실이다. 바뀌어야 한다. 민심을 제대로 듣기 위해선 수도권 지도부가 어느 정도 들어오는 게 맞다"고 했다.지난 당선인 총회에서 당 지도체제 조기 정비를 위해 전당대회 준비 실무만 맡는 비대위를 최대한 서둘러 출범키로 한 것과 상반되는 '관리형'이 아닌 '혁신형' 비대위여야 한다는 의견이 지배적이었다.차기 당 대표 선출을 위한 전당대회 룰도 현행 '당원 투표 100%'로 치를 게 아니라 일반 국민 여론조사를 반영해야 한다는 의견도 주를 이뤘다.손 전 후보는 "관리형 비대위가 아니라 혁신적인 비대위가 나와야 되지 않느냐. 전당대회까지도 혁신적인 결과가, 당 지도부가 나와야 하지 않느냐는 의견들을 많이 냈다"고 전했다.호 전 후보는 "당원 100%로 해서는 민심을 반영하지 못하기 때문에 (당심과 민심이) 7대3이든 5대5이든 바꿔서 민심을 반영할 수 있는 당 대표가 있어야 한다는 발언이 있었다"고 회상했다.이 전 의원은 "당원 의견을 무시하자는 게 아니라 국민 의견이 반영되는 수준은 돼야 한다고 생각한다"며 "과거 50대 50을 한 적이 있었는데 최소한 그 정도까지 돌아가야 하지 않나"라고 했다.이날 간담회는 지난 16일 당선인 총회에 비해 차분하고 무거운 분위기 속에 진행됐으며, 선거를 치른 소회를 말하며 눈물을 글썽이는 발언자도 있었다고 한다.원외 조직위원장들은 지도부가 떠난 이후에도 샌드위치와 김밥으로 점심을 때우며 추가로 토론을 이어갔다.최근 열린 당선인 총회에서 참석자들이 웃으며 축하 인사를 주고받고 '셀카' 찍는 모습이 언론에 보도된 데 대해서도 반성이 없다고 지적했다.이재영 전 의원은 "당선인 모임에서 나왔던 모습들이 과연 반성하는 사람들의 모습인지 의구심을 가질 수밖에 없었다"며 "주위 일반 시민들도 그런 얘기를 많이 하셨다"고 비판했다.손범규(인천 남동갑) 전 후보도 "웃고 떠들고 밥 먹고 그러면 국민이 어떻게 생각하겠느냐는 얘기가 나왔다"며 "'쟤네 이번에도 그래도 뭐 100석 넘었으니까 그냥 만족하나 보다'라는 생각을 할 수 있기 때문에 그러지 말고 철저히 반성하고 쇄신하고 혁신하려는 모습을 보이자는 얘기가 많이 있었다"고 말했다.한편, 윤 권한대행은 이날 간담회 시작 직후 원외 당협위원장들에게 "각 지역에서 현수막 게시, 정책간담회 개최 등에 활용할 수 있도록 당협(당원협의회)에 100만원씩 지원하겠다"고 밝혔다.
작성자 : 정치마갤용계정고정닉
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