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신기방기 EUV 장비에서 사용되는 기술
이 글보고 문득 생각나서 써보는 글임반도체 장비 기업 ASML은 누구나 한번쯤 들어보았을 것이다이 기업이 반도체 업계에서 슈퍼 을로 통하고 있다는데 그 이유는 바로 EUV장비를 여기에서 밖에 만들지 못하기 때문임EUV(Extreme UltraViolet) 장비는 이름 그대로 극자외선을 이용하는 장비인데그 EUV를 이용해서 원하는 회로패턴을 웨이퍼에 새기는 작업을 함최첨단 반도체 생산을 위해서 반드시 필요한게 EUV장비인데 그걸 ASML이 독점생산하고 있으니아무리 비싸고 만드는데 오래걸려도 반도체 기업들이 줄을 서서 사려고 하는 것임근데 그렇게 중요한 장비라면 왜 다른 기업에서 만들려고 하지 않는 것일까?EUV 장비에서 사용하는 신기한 기술들 몇개를 보면서 그 이유를 알아보자1. 광원 생성EUV를 이용하는 장비이니 당연히 EUV를 생성하는 기능이 있다.하지만 EUV는 13.5nm로 굉장히 짧은 파장을 가지는데이런 빛을 만들기 위해서는 독특한 방법이 필요하다바로 주석(Sn)을 플라즈마화 시키는 것이다.위 움짤을 보면 움직이는 주석 방울에 레이저가 두번 맞는걸 볼 수 있다초속 70미터의 속도로 융용 주석 방울이 발사되면그걸 첫번째 저강도 레이저가 맞혀서 주석 방울을 넓게 퍼뜨려 평평하게 만든다그리고 두번째 고강도 레이저가 맞혀서 주석을 플라즈마로 만들고 EUV를 방출시킨다그리고 이 과정을 초당 5만번 반복한다이렇게 만들어진 빛은 거울로 모아서 웨이퍼로 향하는 광학계로 보내진다2. 광학계EUV 장비 속 광학계, 위에서 움직이는 게 레티클, 아래에서 움직이는게 웨이퍼다EUV의 특성상 극도로 흡수가 잘되기 때문에 광학계에 렌즈는 거의 사용하지 못하고주로 흡수율이 낮은 특수한 거울만든다물론 공기에도 흡수되기때문에 내부는 진공임이 광학계의 정확도는 지구에서 쏜 빛으로 달에 있는 100원 동전을 맞힐 수준이다3.레티클(마스크)레티클, 마스크라고도 하는데 회로패턴이 새겨진 유리판이다일반적인 마스크는 투과형으로 빛이 통과하면서 그 패턴을 가져가는데EUV는 흡수가 되기때문에 마스크도 반사형으로 만들어야한다이 레티클은 빛의 간섭을 이용하는 다층 반사기로 패턴을 구현하였으며레티클을 움직이는 레티클 스테이지는 최고속력 3.2m/s의 관성을 완벽히 상쇄하며웨이퍼 스테이지와 완벽히 동시에 움직여 그 패턴을 새긴다동시에 두 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 스테이지,진공상태를 유지하는 배기시스템이나 온도를 관리하는 쿨링시스템 등그 외 여러가지 기술들이 있지만EUV에서 사용하는 기술들 말고도 ASML이 사용하는 신기한 기술들은 또 있다움직이는 웨이퍼와 렌즈 사이의 공기층을 물로 채워 노광작업을 진행시키는 액침노광기술(공기보다 높은 굴절률을 이용해서 더 좋은 해상도를 구현한다)4096개의 미세거울을 컨트롤해서 렌즈없이 원하는 조명패턴을 만들어내는FlexRay기술등이 있다(간섭패턴에 영향을 줘서 빛의 세기를 높일 수 있음)
작성자 : ㅇㅇ고정닉
일본적인 감성에 대해 알아보자
https://youtu.be/SYQeWTHRb40?si=DEyD6BBrojslMREW일본 하면 떠오르는게 무엇인가?초밥, 라멘, 사무라이, 닌자 등등 여러가지가 있겠지만나는 가장 일본적인 감성을 잘 느낄 수 있는 것은일본의 학원물이라고 이야기하고싶다.실제로 일본의 대표적인 문화적 자산 중 하나인망가, 애니메이션 분야에서는학원물의 비율이 매우 높다.또한 조금 더 폭 넓게 다가가서 "소년만화" 의 비중이 매우 높다우리나라나 해외의 문학적, 상업적 작품들에학원물, 소년물의 비율이 얼마나 되는지 생각 해 보자필자는 당장 생각 나는 것은 해리포터와 마블의 스파이더맨, 샤잠 시리즈 정도가 생각난다.하지만 일본의 학원물이나 소년물과는 뭔가 이질적이다.그리고 일본에서 흥행하거나 세계에서 흥행한 작품들을 보면원피스, 나루토, 너의 이름은, 센과 치히로의 행방불명, 원령공주, 진격의 거인 등 당장 생각 나는 것만 해도 이 정도인 데다가새롭게 만들어지는 컨텐츠들의 대부분이 역시 소년물, 학원물이다.이것은 우연일까?왜 일본의 소년물, 학원물은 그렇게 독특한 감성을 가지고 있는 것일까?왜 일본에서는 이러한 장르가 유행하고, 또 끊임없이 재생산되는것일까?일본의 학원물, 소년물은 다른 문화권들의 그것과는 뭔가는 달라보인다.나는 이것이 일본의 독특한 미의식, 모노노아와레에서 유래되었다고 이야기 하려고 한다.“일본문학의 시가적 기조(基調)는 사랑의 연민이요, 사물의 연민이라고 하였다. 이름은 기억되지 않으나 그는 저서이름을 아예 ‘일본문학의 연민’이라고 하였다. 그러면서 하는 말이 일본적 예술의 특색은 비과학적, 비수학적이며 부조화, 불안정의 유동미에 있다고 하였다. 내가 보는 ‘아와레’는 서럽고 사랑스럽고 아름답고 무상하고 측은하고 안쓰럽고 외롭고 아쉽고 고요하고 적적한 시인의 미에 대한 심미적 개괄이라고 생각한다.”일본문학의 정서 ‘아와레’와 한국의 ‘한(恨)’ - 이윤옥모노노 + 아와레직역하자면 사물에 담긴 측은함 이라는 것이다.쉽게 말하여 모노노아와레라는 것은지나간 것에 대한 애상, 흘러가 버린 세월에 대한 쓸쓸함과 아쉬움, 이미 없어지거나 사라져 버린 것에 대해 느끼는 그리움 등을 총칭하는 말이다.어떤 사람은 그것은 그리움이나 추억이라는 단어로 설명 가능한 인류 보편적인 감성이 아니냐는 이야기를 할 수도 있는데,나는 그러한 감정은 인류 보편의 것 이지만일본의 경우에는 그것이 훨씬 깊고 짙으며, 민족적, 문화적 색채에 강렬하게 남아있는 특이한 경우라고 이야기하고싶다.이러한 주장을 뒷받침하는 근거는 무수히 많은데,특히 헤이안 시대의 대표적인 작품이자 일본 최고(古)의 소설인 겐지모노가타리는이 모노노아와레의 절정을 보여주는 작품이라고 할 수 있다겐지이야기 뿐 만 아니라 일본의 다양한 고전문학에서 이러한 모노노아와레에 대한 감성을 느낄 수 있는데,유명한 단가 하나를 보고 가도록 하자먼 곳에서 들리는 천둥소리를 묘사하다가눈으로 저 멀리 보이는 구름과 비를 이야기하고끝으로는 눈 앞에 있는 '너' 를 이야기하고있다우리나라의 시조를 생각 해 보면우리는 효, 충과 같은 조금 더 형이상학적이고 추상적인 내용을 다룬다면일본은 눈앞의 대상들을 묘사하며 현실적인 감정에 집중한다.그렇기 때문에 일본적인 감각이라는 것은지극히 현실적인 것을 추구하는 것이다.현실적인 감정을 추구한다는 것은 내가 느끼는 감정과 현실에 대해 묘사하는 것으로,고대부터 우리가 가장 크게 느낄 수 있는 정서의 대상은바로 눈 앞의 대상과 상실의 감정일 것이다.그렇기 때문에 일본 사람들은 학창시절, 어린 시절에 크나 큰 애착을 느끼는 것이다.학창 시절이야말로 우리는 다시는 찾아올 수 없는 상실한 것이기 때문이다.우리가 일본의 문화 컨텐츠를 소비할 때 느껴지는 짙은 상실의 정서는이러한 주장을 뒷받침해준다.우리가 한국이나 그 밖의 문화권의 컨텐츠를 소비할 때비슷한 감정을 느끼는 빈도를 생각 해 본다면 말이다.이러한 점에서 생각 해 본다면일본 사람들이 어째서 전통과 아날로그에 집착하는지 조금이나마 이해할 수 있을 것이다.일본인들은그들의 눈 앞의 사물에 담긴 기억과 그 밖의 모든 것들에 담긴 감정들을 느끼는 것이다.
작성자 : lduna고정닉
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