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신기방기 EUV 장비에서 사용되는 기술
이 글보고 문득 생각나서 써보는 글임반도체 장비 기업 ASML은 누구나 한번쯤 들어보았을 것이다이 기업이 반도체 업계에서 슈퍼 을로 통하고 있다는데 그 이유는 바로 EUV장비를 여기에서 밖에 만들지 못하기 때문임EUV(Extreme UltraViolet) 장비는 이름 그대로 극자외선을 이용하는 장비인데그 EUV를 이용해서 원하는 회로패턴을 웨이퍼에 새기는 작업을 함최첨단 반도체 생산을 위해서 반드시 필요한게 EUV장비인데 그걸 ASML이 독점생산하고 있으니아무리 비싸고 만드는데 오래걸려도 반도체 기업들이 줄을 서서 사려고 하는 것임근데 그렇게 중요한 장비라면 왜 다른 기업에서 만들려고 하지 않는 것일까?EUV 장비에서 사용하는 신기한 기술들 몇개를 보면서 그 이유를 알아보자1. 광원 생성EUV를 이용하는 장비이니 당연히 EUV를 생성하는 기능이 있다.하지만 EUV는 13.5nm로 굉장히 짧은 파장을 가지는데이런 빛을 만들기 위해서는 독특한 방법이 필요하다바로 주석(Sn)을 플라즈마화 시키는 것이다.위 움짤을 보면 움직이는 주석 방울에 레이저가 두번 맞는걸 볼 수 있다초속 70미터의 속도로 융용 주석 방울이 발사되면그걸 첫번째 저강도 레이저가 맞혀서 주석 방울을 넓게 퍼뜨려 평평하게 만든다그리고 두번째 고강도 레이저가 맞혀서 주석을 플라즈마로 만들고 EUV를 방출시킨다그리고 이 과정을 초당 5만번 반복한다이렇게 만들어진 빛은 거울로 모아서 웨이퍼로 향하는 광학계로 보내진다2. 광학계EUV 장비 속 광학계, 위에서 움직이는 게 레티클, 아래에서 움직이는게 웨이퍼다EUV의 특성상 극도로 흡수가 잘되기 때문에 광학계에 렌즈는 거의 사용하지 못하고주로 흡수율이 낮은 특수한 거울만든다물론 공기에도 흡수되기때문에 내부는 진공임이 광학계의 정확도는 지구에서 쏜 빛으로 달에 있는 100원 동전을 맞힐 수준이다3.레티클(마스크)레티클, 마스크라고도 하는데 회로패턴이 새겨진 유리판이다일반적인 마스크는 투과형으로 빛이 통과하면서 그 패턴을 가져가는데EUV는 흡수가 되기때문에 마스크도 반사형으로 만들어야한다이 레티클은 빛의 간섭을 이용하는 다층 반사기로 패턴을 구현하였으며레티클을 움직이는 레티클 스테이지는 최고속력 3.2m/s의 관성을 완벽히 상쇄하며웨이퍼 스테이지와 완벽히 동시에 움직여 그 패턴을 새긴다동시에 두 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 스테이지,진공상태를 유지하는 배기시스템이나 온도를 관리하는 쿨링시스템 등그 외 여러가지 기술들이 있지만EUV에서 사용하는 기술들 말고도 ASML이 사용하는 신기한 기술들은 또 있다움직이는 웨이퍼와 렌즈 사이의 공기층을 물로 채워 노광작업을 진행시키는 액침노광기술(공기보다 높은 굴절률을 이용해서 더 좋은 해상도를 구현한다)4096개의 미세거울을 컨트롤해서 렌즈없이 원하는 조명패턴을 만들어내는FlexRay기술등이 있다(간섭패턴에 영향을 줘서 빛의 세기를 높일 수 있음)
작성자 : ㅇㅇ고정닉
한동훈은 왜 패장임에도 불구하고 당내여론이 좋은가?
원래 보수정당에서 선거에 진 패장은 당내에서 욕 뒤지게먹고 쫒겨나는게 국룰이었음 ㅇㅇ 그런데 한동훈 같은경우에는 상황만 놓고보면 홍준표, 황교안이랑 똑같은 패장인건 분명함 그런데 저 둘과 다르게 패장임에도 불구하고 오히려 지지를 받고있는 어찌보면 기현상인 일이 벌어짐 왜 한동훈은 패장임에도 불구하고 여론이 좋을까? 일단 1차적인 원인은 다들 알다시피 이새끼 때문임 ㅇㅇ 사실 중도층이나 진보는 몰라도 보수층에서는 총선전까지 이새끼 책임론이 그렇게 대두되지 않았음 ㅇㅇ 그래프 보면 알다시피 총선전에는 38퍼센트로 지금보다는 높았는데 최소한 두창이 책임론을 보수쪽에서는 인정하지 않았다는 말이 됨 왜냐고? 두창이가 똥싸는게 병신짓거리라는걸 객관적으로 증명할 가시적인 결과가 없었거든 ㅇㅇ 근데 '총선'이라는 들이밀면 절대 반박못할 결과가 나와버렸거든 그러니까 빨간약 강제로 드링킹하고 정권심판론의 존재를 인정할 수 밖에 없었던거임 결과는 '총선 참패 원인은 윤석열이다' 를 보수에서도 인정하게 됨 그러다 보니 모든 화살은 두창이한테로 갔고 한동훈은 그렇게 까이지 않음 두번째로 한동훈은 선거기간동안 적어도 당내에서는 그다지 잡음을 만들지 않음 물론 따지고보면 잡음이랄게 없진 않았지만 이 새끼들 ㅇㅈㄹ 하던거에 비해선 새발의 피 수준임 ㅇㅇ 오히려 이 정도면 선거 유세 하다보면 실수 할 수 있다에 그침 저지랄 하던거를 다 지켜본 보수지지층 입장에서는 한동훈때는 잡음없다고 여길수밖에 없음 오히려 총선을 위해서 자기 안위를 내려놓고 최선을 다하는 모습을 보여주니까 그게 먹힌거임 또 '깔끔한 퇴장' 도 원인이 됨 ㅇㅇ 선거에서 졌어도 이렇게 추하게 물고늘어지지 않고 쿨하게 인정해서 긁어부스럼 안만들고 깔끔하게 퇴장한 것도 있음 사실 퇴장은 홍준표도 깔끔하게 물러나긴 했는데 한동훈은 윗짤의 전 대표가 코정선거 물고늘어지다 추해진 역사가 있기때문에 다음 총선지휘자로서의 깔끔한 퇴장이 더 부각됨 더군다나 저말한지 하루도 안되서 총선 참패의 원인이 저 ㅈㄹ하니까 오히려 옹호됨 여담이지만 깔끔한 이미지도 한몫 했다고봄 최근 보수는 이런 엘리트 이미지와는 다르게 꼴통, 틀딱 이미지가 지난 10년동안 너무 많이 박혔고 보수에서도 옛날의 저런 스마트한 이미지의 인물을 원하고 있었던 것도 큼 대충 이런거 한 10년쯤 보다가 이런거 보니까 반가운거지 이런 요소들이 한데 모이고 모여서 한동훈이 비록 패장이더라도 오히려 옹호를 받는거라 봄
작성자 : ㅇㅇ고정닉
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