겉핡기로 읽어보는 반도체 Mask 1 - 실시간 베스트 갤러리

겉핡기로 읽어보는 반도체 Mask 1앱에서 작성

ㅁㄴㅁㄴ

2024.02.25 07:11:01

조회 8562 추천 42 댓글 32

#여기서 소개된 모든 정보는 구글로 쉽게 찾아볼 수 있음

A. 반도체 마스크란?

a65614aa1f06b367923425499b3dc8b1fb3acfba698046f1ce6b80e6b720bb3c28a8ae42fcddcc45eb99ac703da03332fe

검색하면 요런 판때기가 찾아질텐데

요건 겉보기에 Optic KrF(line용) BINARY Reticle로 보임, 아-마도 Logic용으로 사용될 것으로 보이고

그게 뭔데 이 씹덕아?

이제부터 간략하게 알아보도록 하자

마스크란 간단하게 말하자면 팔만대장경 목판같은거임

요런 판때기에다가 불경(패턴)을 새기고

a65614aa1f06b367923425499b3dc8b1fb3acfba698046f1ce6b80e6b720ba3c5013563ed1b7c96ee75b5e6b105fae99652a

종이에다 쿵 찍어내면 불경이 찍혀나오잖아?

a65614aa1f06b367923425499b3dc8b1fb3acfba698046f1ce6b80e6b720ba3ed8624b4a3ac5317f1c618e99ce2ff4cdc4a7

7bed8036fd9f35a77db4e9b11fd0232f019577ffbbd293d872aa455499e82a2ff7a9e16477a2

반도체 마스크도 이와 동일한 원리임,

간단하게 정리하자면

1. Blank Mask가 입고된다

2. 마스크에 원하는 패턴을 새긴다

3. 빛을 마스크에 통과시켜 웨이퍼에 원하는 패턴을 새긴다.

요 3가지 과정이 Mask의 역할임

첫번째 사진에 보이는 저 쬐깐한 검은 그림들을 웨이퍼에 복붙하는게 레티클의 역할이란것

Q. 레티클..? : 엄밀하게 정리하자면

1대1사이즈로 투영하는 것 = Mask

N대1사이즈로 축소 투영하는 것 = Reticle인데

관습적으로 Mask=Reticle으로 혼용해서 사용함

B. Blank Mask

블랭크 마스크란 아무 정보도 기입되지 않은 상태의 Reitcle을 의미하는데 위에서 언급한 팔만대장경에 아무 글자도 새기지 않은 상태와 동일하다고 생각하면 됨

일반적으로 Blank는 Shinetus와 HOYA사에서 구매해서 옴

0888e676b79c32b6699fe8b115ef046ce8588e0107

블랭크의 구조는 Optic에서(i line~DUV)크게 3개층으로 구분됨

1. Mask의 구조를 이루는 쿼츠층

2. Mask의 패턴이 될 크롬층

3. Mask에 패턴을 새기기 위한 PR층

20bcc32df5c037a520b5c6b236ef203e71ec7d263bbfb5

위 사진의 제일 위의 노란층이 포토레지스터층(PR)

검은색 층이 Cr층

젤 하단의 은색이 Qz층임

일단 지금은 젤 위쪽 사진만 보고 넘어가도록 하자

C. 블랭크 마스크의 구분

블랭크는 Cr층이 빛을 완전히 틀어막아버리는 Binary Mask와 빛을 일부 통과시키는 Phase Shift Mask(PSM)으로 나눠지게 됨

주로 Bin은 i line ~KrF까지 사용하고

PSM은 ArF~DUV에서 사용하게 되어있음

=PSM이 더 미세한 패턴을 찍어내기에 유리하다는 말이지? 그 이유를 알아보자

D. BINARY의 소개와 설계팀의 몸비틀기

가장 처음 등장한 형태의 Mask인데 이진법이라는 말에 걸맞게 Cr부는 Light Source를 100% 차단하고 Qz부는 빛을 100%(정확히는 80%가량 투과율)로 통과시킴

1ebec223e0dc2bae61abe9e74683706d28a34d83d1d4c8b7b7c6c4044f1790939f221ce445e766408bfb51118838759e

KrF(213nm) 파역대까지는 사용상 문제점이 없었으나 ArF source(193nm)를 사용하며 문제가 생기게 됨

왜냐구? 반붕이들이 고딩때 물리 공부하면서 들어봤을 '빛의 파동 간섭' 때문에 패턴 뭉개지거나 요상하게 찍혀나오기 시작함

a65614aa1f06b367923425495e806d733611703c3679d6b0707885c60446

일종의 광학적인 노이즈라고 볼 수 있음 이것에 대한 역발상으로 나온것이 Optical Proximity Correction과 (OPC)와 Scattering Bar (S-Bar)임

24b0d121e0c170f427f1c6bb11f11a3975b6fe56a4049d

Opc란? : 찍으면 빛이 휘어서 노광된 모양이 개떡같이 나오네? 그럼 휘는걸 감안해서 패턴 모양을 개떡같이 설계하면 이쁘게 노광되지 않을까?

78f0f62fe2c72aa33af287fb06df231dc10a01f3b972be1609fa

S-BAR란? : 노광된곳 옆에 보면 빛이 보강 간섭되어서 원하지 않는 곳에 노광된 부분이 생기는데 이부분에 역으로 빛을 통과시키면 증폭간섭된 빛이랑 상쇄간섭을 일으켜서 원하는대로 노광이 가능하지 않을까?

# 아래의 그림을 보면 더 쉽게 이해가 가능할것임

7fed8275b5876af051ed86e445837073db7c8fce8ccc9afc5fe8f86290c0

이렇게 OPC와 S-BAR를 사용하며

설계로 물리적 한계를 간간히 때워오던 Mask 시장도 ArF의 등장으로 인해 새로운 국면을 맞이하게 됨

- to be continued -

- dc official App

출처: 반도체산업 갤러리 [원본 보기]

고정닉 3

원본 첨부파일 11본문 이미지 다운로드

전체 댓글 0개

등록순

본문 보기

타인의 권리를 침해하거나 명예를 훼손하는 댓글은 운영원칙 및 관련 법률에 제재를 받을 수 있습니다.
Shift+Enter 키를 동시에 누르면 줄바꿈이 됩니다.

갤러리 리스트
번호	제목	글쓴이	작성일	조회	추천
설문	비난 여론에도 뻔뻔하게 잘 살 것 같은 스타는?	운영자	24/06/03	-	-
218847	[갤갤] 고장난 GPS 때려서 고쳐보자 [90]	모바일フIフI	03.28	17452	37
218845	[중갤] 서울 시내버스, 파업 11시간 만에 타결 [193]	AZ3811	03.28	19868	180
218841	[싱갤] 감자를 채소에서 제외시킨다는 미국 [296]	ㅇㅇ[1.227]	03.28	30519	275
218839	[디갤] 다시찾은 삼악산…그 천상의 세계로… [30]	12b	03.28	5145	45
218837	[해갤] 국뽕없는 이탈리안 아재가 평가한 쇼니와 찬밥이 [207]	해축러(121.132)	03.28	23333	731
218835	[더갤] 구청장이 "같은 고향인데 챙겨주이소" 논란 [309]	ㅇㅇ	03.28	14306	91
218834	[야갤] 캄보디아 사원을 여행하는 대한 핀란드인.jpg [130]	야갤러(211.234)	03.28	14581	120
218832	[싱갤] 싱글벙글 켄간 노진구 [180]	개배추	03.28	32552	432
218831	[의갤] [충격] 점심식사와 회식이 평생 공짜라는 병원들ㄷㄷㄷㄷㄷ [263]	ㅇㅇ(211.36)	03.28	24261	351
218829	[야갤] 한남일녀 국결 급증... 여초 반응 ...JPG [985]	ㅇㅇ(222.235)	03.28	54764	1048
218828	[국갤] 조국당 박은정 남편, 다단계 업체 변호로 재산 급증 [236]	ㅇㅇ	03.28	13293	470
218826	[싱갤] 훌쩍훌쩍 훈훈한 기사와 그렇지 못한 댓글 [110]	ㅇㅇ(118.235)	03.28	14670	65
218825	[부갤] 경제 ㅆ창났다는 요즘 아르헨티나 한식당 가격 근황 [274]	부갤러(146.70)	03.28	32382	152
218822	[기갤] 연애 프로그램에 여성 양성애자 출연 [342]	긷갤러(149.34)	03.28	38033	100
218820	[야갤] 틀딱 멸망... 룸싸롱을 좋아하는 국민의힘 [782]	야갤러(61.74)	03.28	30162	678
218819	[군갤] 초급장교 모집에 열 올리는 학군단, 효과는 미미해 [391]	ㅇㅇ	03.28	16556	87
218817	[싱갤] 어제 발표된 외국인 관광객들의 한국관광 불편신고 사례 [263]	ㅇㅇ	03.28	19844	84
218816	[카연] 미대일기.. [59]	코코나탈리	03.28	12440	131
218814	[부갤] 감사 요구한 민원인 개인정보 몰래 들여다본 인천시청 공무원 [208]	부갤러(78.153)	03.28	12631	272
218812	[나갤] 24년 기대작 나는솔로 모태솔로 특집 리뷰 6탄.jpg [233]	ㅇㅇ(175.206)	03.28	39169	568
218810	[싱갤] 일본일본 원죄촌 [205]	고이즈미_준이치로	03.28	23719	192
218807	[기갤] 백두산 공식적으로 중국에 뺏겨 [1097]	ㅇㅇ(118.235)	03.28	34570	502
218805	[이갤] [더불어 민주연합] 입틀막 광고 [599]	진짜대통령1이재명	03.28	13641	180
218804	[싱갤] 파리 올림픽 개막식 공연 가수, 노래 확정 [316]	ㅇㅇ	03.28	19678	38
218803	[주갤] [여성시대 또 떴다!] 여시 하면서 남혐하는 여경들 [264]	주갤러(106.101)	03.28	23439	775
218801	[신갤] 가장 상세한 UFO 기록이 남아있는 팔콘호 사건 [214]	테이리	03.28	19890	172
218800	[원갤] 홍차 티백을 만들어보자!(feat. 치오리) [93]	리을X3	03.28	8486	82
218799	[부갤] 요즘 사회초년생 중 간혹 보이는 유형 [855]	부갤러(45.84)	03.28	45427	580
218797	[싱갤] 깜짝깜짝 졸업앨범을 반찬으로 쓴 적이 있습니까?...vote [191]	ㅇㅇ(123.109)	03.28	23776	43
218796	[이갤] 스압) 억대연봉 영업맨이 말하는 제약영업의 현실 [254]	ㅇㅇ	03.28	20984	198
218795	[부갤] 일본의 심각한 사회문제 고령화 치매 [293]	ㅇㅇ(216.238)	03.28	18176	222
218792	[싱갤] 싱글벙글 가난이 뇌에 미치는 영향 [450]	레이퀀스뱅큐어	03.28	35948	279
218791	[해갤] 이강인 1분기 요약 [278]	꼼_쥐	03.28	20470	364
218789	[도갤] 요트로 세계일주하는 한국 아저씨의 '반전' [274]	도갤러(104.254)	03.28	19080	298
218788	[대갤] 위생의 일본, 바퀴벌레 들어간 미소된장에 발칵! [215]	난징대파티	03.28	17714	263
218787	[디갤] 아이폰으로 찍은 사진들.webp [99]	찰칵찰칵	03.28	8688	52
218785	[싱갤] 훌쩍훌쩍 여자가 이혼을 후회한 이유 [619]	ㅇㅇㅇ(1.239)	03.28	56313	1073
218784	[자갤] 오늘자 한문철TV 얌체 운전…gif [232]	ㅇㅇ(223.39)	03.28	21325	126
218783	[N갤] 엔씨소프트 "올해 엔씨 다이노스 경영지원 대폭 낮출 것" [주총] [154]	ㅇㅇ(106.101)	03.28	16205	125
218781	[주갤] 충격) 실시간...여대생들 난교 야스 스캔들 터졌네.JPG [990]	주갤러(185.114)	03.28	72657	802
218780	[싱갤] 레딧 상장 이야기 (슈카월드) [146]	⭐	03.28	16076	64
218777	[이갤] 김남국ㅋㅋㅋㅋㅋ [464]	ㅇㅇ(211.235)	03.28	18375	192
218776	[의갤] “의사들, 與 안찍겠다며 명함 거부”…강남-해운대 등 텃밭 흔들 [650]	ㅇㅇ	03.28	19239	260
218775	[치갤] 주호민이 쏘아 올린 공 [1080]	ㅇㅇ	03.28	40062	630
218773	[싱갤] 싱글벙글 캐나다에서 한국으로 역이민 오는 이유 [741]	레이퀀스뱅큐어	03.28	34285	201
218772	[주갤] 모대학 에타에서 난리난 페미 손가락 논란 [314]	ㅇㅇ(223.38)	03.28	26938	1096
218771	[야갤] [충격] 이재명 첫 선거운동 ㄷㄷㄷ.....mp4 [657]	대석열	03.28	28474	645
218769	[싱갤] 싱글벙글 장애인인척 AI와 대화해보기 [245]	ㅇㅇ	03.28	39718	487
218768	[야갤] 실시간 서울.jpg [479]	ㅇㅇ(223.62)	03.28	36984	149
218767	[싱갤] 안싱글벙글 태국 하원 동성혼 허용 법안 통과... [197]	ㅇㅇ	03.28	8434	34