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TEL 저온식각이 왜 혁명이냐면 (갑자기 초혁신 터졌다는 반도체업계 근황)
저온식각 일명 cryo etching은 201X년대부터 낸드 기술이 2D 한계에 봉착했을 때 꿈의 기술로 각광받았음그런데 일단 초저온 가스인 액화질소나 산소가 비싸고 공정 컨트롤의 난이도(극저온 칠러비용, 가스혼합비 등) 때문에 다들 개발에 성공하지 못했음그 와중에 TEL이 이번에 해당기술 개발에 성공해서 들고나온건데저온식각이 얼마나 쩌는지 알아보자식각 효율을 나타내는 숫자인 Etch Rate(줄여서 E/R)라는게 있음E/R = 식각 깊이(Å)/공정 시간(m)이라 얼마나 깊이 빠르게 식각을 쳐내느냐를 나타내는 E/R은 쓰루풋이 중요한 반도체 공정에서 중요한 숫자임왼쪽 파이차트: 일반 플라즈마 식각 가스 혼합비중간 파이차트: 연구단계의 저온식각 가스 혼합비 (1세대 저온식각)오른쪽 파이차트: TEL에서 완성한 저온식각 공정 장비 가스혼합비일반적인 식각보다 중간으로 가면 E/R이 2배가 되는데TEL은 중간과정보다 E/R 2배의 개쩌는 공정을 개발해냄E/R이 4배라는 말은 이론적으로 일반 낸드식각 공정보다 최대 4배로 빠르게 같은 깊이를 식각할 수 있다 or 같은 시간에 4배 더 깊이 식각 할 수 있다는 의미실제로는 식각 속도는 기존 공정보다 두배 빠르고 식각 깊이를 25% 더 깊게 에칭할 수 있다 하더라TEL의 주장에 따르면 10um 에칭하는데 33분이 소요되었으며 84% 탄소발자국 감소효과가 있었다고 함통상적인 플라즈마 공정은 7-8um 에칭하는데 1시간 남짓 걸림그림으로 보자면낸드가 이렇게 생겼는데 채널이 더 깊고 빨리 파짐 -> 낸드 단수 높히는데 예전에는 플라즈마 써서 고단화에 애 먹었는데 고단화 비교적 난이도 내려갈 예정TEL 자료 10um 뚫은 인증 + 깨끗하게 뚫린 바닥 사진 + 기술 세부자료불화수소 메인이라 탄소가스 사용절감으로 인한 ESG 점수는 덤결국 쓰루풋 포함 생산성 방면에서 저온식각이 고단 낸드 적층시 플라즈마 식각 대비 우위를 점하고 있기 때문에 현재 낸드식각 주류인 플라즈마 식각장비가 메인인 램리서치나 어플라이드는 TEL에게 고적층 낸드로 갈수록 마켓쉐어 많이 내줄 수 밖에 없다고 생각함. 좀더 자세한 이야기는 이 분이 글 잘 써놨더라https://blog.naver.com/timesight/223163209160 극저온 식각(Etching)의 도입 : NAND 식각 시장에서 가져올 큰 변화극저온 식각 장비의 개발 도쿄일렉트론은 23.06.09에 극저온 식각 장비를 공식적으로 발표하였습니다. &quo...blog.naver.com
작성자 : 방자_올돌골고정닉
[스압/사진 개 많음] 캠린이 첫 솔캠 후기
몇 번 안가긴 했지만 캠핑은 항상 누구랑 같이 갔는데 그 참나원 유튜브 보면서 솔캠 특유의 여유? 같은게 너무 좋아보였음그래서 원래는 친구들끼리 나눠서 캠핑도구 챙겨왔는데 솔캠이 너무 해보고 싶어서 장비 하나씩 모아서 드디어 첫 솔캠 해봤어연차까지 냈는데 거의 하루종일 예상 평균풍속이 7~8 이길래 로티캠 수수깡 다리로는 빡세지 않을까 해서 포기하려 했음 근데 윾갤러중에 누가 산에 있으면 바람 막혀서 괜찮을 수도 있다는 말 해줘서 텐트 부서지면 차에서 자지 뭐 마인드로 걍 옴. 산이면 바람 방향보고 걍 가도 된다고 해준 유붕이 고맙다 진쨔시발 근데 오후 3시쯤 부터 조금씩 온다고 해서 비오기전에 타프치고 느긋하게 우중캠 해보려 했는데 체크인 하자마자 개같이 비와서 우의 입고 피칭하다가 힘들어 뒤질뻔수명 깎아서 한 피칭 짤)토르 박스는 처음에 가격보고 리빙박스 냅두고 7만원짜리 플라스틱을 왜 사노 시발 했는데 정신차리니까 집 앞에 택배박스로 와 있었음 ㅎ미니멀 세팅으로 하고싶어서 테이블 땜빵으로 쓰려고 콤마나인 상판이랑 상판다리도 삼. 캠린이라 그런진 모르겠는데 상판 가격도 이해안가긴 했는데 다리 두짝에 치킨 한마리 값인거 보고 패드립 나옴 (근데 삼)피칭 끝내고 우중캠 처음 느낀 순간)둘이서 솔캠 보고 삘받아서 산 스탠리 보온/보냉 컵 인데 사실 다른 보냉 컵 안써봐서 성능이 더 좋은건지는 잘 모르겠음평일+비 라서 전세캠이었는데 사이트 세팅 끝내고 비소리 들으면서 잔잔한 피아노 음악 틀어놓고 맥주 마실 때 ㄹㅇ 발기함 비도 적당히 추적추적 내리는 정도라 너무 행복했어짱겹살 + 소시지 + 명란)고기는 그냥 이 새끼임 존나 맛있었다 고기GOAT. 유루캠 한편 후리면서 맥주랑 고기 먹는데 이때 쯤에 한번더 발기.이 때쯤 부터 비가 좀 많이 왔는데 타프가 좀 작아서 그런가 옆으로 비가 좀 들어오길래 인디언 행어랑 아이스박스 안쪽으로 더 당겨서 사도세자 메타로 캠핑함사도 보면서 야식먹을 때 원래는 버터 넣고 관자구이 먹을라고 챙겨왔는데 버터 올리자마자 나방 새끼가 녹은 버터로 큰결심 하길래 찝찝해서 대충 닦고 배도 덜 꺼졌길래 걍 감자칩으로 대체. 유아인, 송강호 연기 진짜 개쩔드라사이트 야간 사진갤에서 다들 이렇게 찍으면 멋있게 나오던데 내가 찍으니까 럭키 서울역 됨. 전에도 있었는데 이번에도 찾아온 ㅈ냥이)웬만하면 귀여워서 냅두려고 했는데 자는동안 고양이가 텐트나 타프같은거 찢었다는 거 여기저기서 꽤 봐서 어떻게든 떼어 냄. 근데 이 새끼 랜턴 불빛 보고 계속 다시 찾아와서 몸 비빔. 어디 갈때마다 따라오길래 안되겠다 싶어서 먹다남은 명란으로 유인, 멀리있는 파쇄석 사이트 구석에 명란 던져주고 먹는동안 뛰어와서 불 다끄고 텐트로 쨈. 평일 캠 인심)밤 되니까 쌀쌀하길래 새벽에 춥겠다 싶어서 핫팩사러 매점 감. 근데 핫팩 시즌이 아니라 다 떨어졌다고 해서 노숙 메타로 자야겠다 하고 가려하니까 캠장님이 잠시만 기다려보라고 하시더니 창고 뒤져서 핫팩 4개 공짜로 쓰라고 주심 평일캠 인심에 감동.밤 동안 비는 미친듯이 왔는데 나무에 다 막혀서 바람은 거의 없더라ㅋㅋ 빗소리 들으면서 폰질하는데 문득 철수할 때 까지 안그치면 걍 다 갖다버리고 시동걸어서 맨몸으로 집 갈까 고민 하다가 잠.담날 아침) ㅅㅅㅅㅅ 자고 일어났는데 타프 다 말라있었음 세번째 발기. 바로 마늘넣고 소세지 넣고 라면 끓여먹고 철수 함짐)어제 누가 저거 다 토르박스 들어가냐고 물었는데 타프, 에어매트 빼고는 다 들어감진짜 최근에 이정도로 느긋하게 행복한 적 있었나 싶을정도로 좋았고 시간 가는게 아까워서 연박 하고싶다는 생각이 계속 들더라. 솔캠 간다고 하면 심심할것 같다고 주위에서 많이 했는데 별 거 한것도 없이 시간이 미친듯이 빨리가서 준비 했던거 다 해보지도 못함ㅋㅋ. 어떻게 첫 솔캠이 우중캠이 됐고 철수 때 날씨까지 도와줘서 어제 오늘 내내 기분좋게 솔캠했당. 첫 솔캠이라 쓸데없이 좀 글을 길게 적었는데 다음부턴 사진 몇장으로 올릴게! 다시한번 이정도 풍속에 산 쪽이면 바람 방향보고 걍 가도 된다고 해준 유붕이 고맙다 진쨔!!
작성자 : 펭귄볶음고정닉
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