(AS ALD기술개요)
내 추측은 이렇다.
그냥 증착이 아니고 ALD가 필요하고, 거기다가 AS ALD라는 고난이도 기술까지 '찝어서' 한다는것은 이미 이걸 통한 가능성을 봤다는거다.
AS ALD로 선택적으로 박막을 성장시킨다는 의미는 기존의 '증착-노광-식각'의 과정을 거려서 패터닝 시키는게 아니라 증착으로만 패터닝하겠다는 의미고...
굳이 이것까지 필요한 것은 ALD로 세월아 네월아 층 쌓고 노광하고 식각하는게 아니라 3D 프린팅처럼 여러 원자층을 여러 색깔 모래로 모래성쌓듯 한알한알 쌓아서 LK99 결정을 만들겠다는 의미다.
게다가 ALD 프리커서와 Gas 조합으로 LK99 재현이 가능한지 실험해 봤을 가능성이 높다. 아무거나 넣는다고 자기제한 표면반응이 일어나는게 아니기에.... 될지도 안될지도 모르는데 ALD라는 생산방식을 고집하는게 이상하다.
즉 이미 만들어 봤고 가능성을 봤기에 본격적으로 뛰어든다고 봐야하는것이다. 또한 재현팀중 MBE로 합성한 사례 또한 어느정도 도움이 됐을 수 있다.(MBE도 ALD못지않게 정밀 증착이 가능하다.)
이제 막 화학적 증착을 시도하는데 '굳이' ALD, 그것도 AS ALD라는 아직 연구중인 영역을 도입할 이유가 없다. 신성이 아무리 퀀연을 지원한다지만 아무것도 없이 이런 팀을 구성할수가 없다. 산타클로스도 아니고 '응~ 한번도 안해봤는데~ 일단 최고로 좋은 증착기랑 석박사 10명이상 사주세용'한다고 피같은 회사돈을 쓴다는게 말이 되지 않는다.(그렇게 생각하면 회사생활 안해본 빡대가리임)
여러번 화학적 증착을 시도하고 그 과정에서 정밀한 증착이 가능한 ALD가 필요하고, 거기다가 노광 식각까지 할 필요없이 패터닝 가능한 AS ALD방식에도 관심을 가졌을 가능성이 매우 높다. AS ALD라는 걸 명시한 것 자체가 여러모로 가능한 방법을 고민한 결과물이란 사실을 뒷받침하는 것이다. 삼전 하이닉스도 연구중인 기술을 증착 문외한인 신성델타테크가 갑자기 왜 필요하겠나? 퀀연이 이야기하니까 관련 전문가들을 찾았을 가능성이 크다.
퀀연의 요구, 혹은 경험치와 데이터를 검토하여 ALD 방식을 이용한 생산방식을 추진하기 위해 별도의 파일럿 설비와 TF를 꾸렸다고 보는게 여러모로 이치에 맞다.
즉 증착방식 LK99를 생산하는 최초의 업체가 신성이 될수도 있다는 의미다.
퀀연이 ALD를 이용한 생산을 시도할 수 있을만큼 관련 정보나 증착 노하우가 있다고 보는게 합리적이며... 이는 퀀연의 Lk99에 대한 이해도나 기술력이 타 경쟁자들과는 차원이 다르다는 것을 의미한다.
단. 동조선과 혹시 협업을 하는건지 어떤건지 내막은 모르겠지만... ALD를 쓰는 한 자연스럽게 접촉이 있을것 같다는 의심은 든다. ALD는 동조선에서 잘 만드는 장비니까.
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