비정질 p-채널 트랜지스터용 셀레늄 합금 산화텔루르

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기술적 특이점에 대해 의논하고 그와 관련된 과학 기술 정보와 소식을 공유하는 갤러리입니다. *갤러리 이름은 동명의 레이 커즈와일의 저서 <특이점이 온다 (The singularity is near)>를 의미합니다.

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2019-08-01

[정보] 비정질 p-채널 트랜지스터용 셀레늄 합금 산화텔루르모바일에서 작성

ㅇㅇ(118.39) 2024.04.18 21:41:31

조회 59 추천 2 댓글 2

다결정 반도체에 비해 비정질 반도체는 고유한 비용 효율성, 단순성 및 균일한 제조 기능을 제공합니다. 전통적인 비정질 수소화 Si는 전기적 특성이 부족하여 새로운 재료의 탐색이 필요합니다. a-InGaZnO 1 과 같은 이동도가 높은 비정질 n형 금속 산화물의 생성 과 이를 박막 트랜지스터(TFT)에 통합함으로써 현대 대면적 전자 장치 및 차세대 디스플레이의 발전이 촉진되었습니다 2-8 . 그러나 비교 가능한 p형 대응물을 찾는 것은 상보성 금속 산화물 반도체(CMOS) 기술 및 집적 회로의 발전을 방해하는 중요한 과제를 안겨줍니다 9-11 . 여기에서는 비정질 텔루륨 아산화물 매트릭스 내에 이동도가 높은 텔루륨을 통합하는 비정질 p형 반도체를 위한 선구적인 설계 전략을 소개하고 고성능의 안정적인 p채널 TFT 및 보완 회로에서의 유용성을 보여줍니다. 이론적 분석을 통해 얕은 수용체 상태를 갖는 텔루르 5p 밴드 에서 비편재화된 원자가 밴드가 밝혀져 과도한 정공 도핑 및 전송이 가능해졌습니다. 셀레늄 합금은 정공 농도를 억제하고 p 궤도 연결을 촉진하여 ~15 cm 2 V -1 s -1 의 평균 전계 효과 정공 이동도 및 10 6 ~ 10 의 온/오프 전류 비율을 갖는 고성능 p 채널 TFT를 실현합니다. 그림 7은 바이어스 스트레스 및 주변 노화 하에서 웨이퍼 규모의 균일성과 장기 안정성을 보여줍니다. 이 연구는 상업적으로 실행 가능한 비정질 p-채널 TFT 기술과 보완적 전자 장치를 저비용 및 산업 호환 방식으로 확립하기 위한 중요한 진전을 나타냅니다.

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