수능장에 클래식 방송 입갤

빙과 갤러리

1/3

TEL 저온식각이 왜 혁명이냐면 (갑자기 초혁신 터졌다는 반도체업계 근황) 저온식각 일명 cryo etching은 201X년대부터 낸드 기술이 2D 한계에 봉착했을 때 꿈의 기술로 각광받았음그런데 일단 초저온 가스인 액화질소나 산소가 비싸고 공정 컨트롤의 난이도(극저온 칠러비용, 가스혼합비 등) 때문에 다들 개발에 성공하지 못했음그 와중에 TEL이 이번에 해당기술 개발에 성공해서 들고나온건데저온식각이 얼마나 쩌는지 알아보자식각 효율을 나타내는 숫자인 Etch Rate(줄여서 E/R)라는게 있음E/R = 식각 깊이(Å)/공정 시간(m)이라 얼마나 깊이 빠르게 식각을 쳐내느냐를 나타내는 E/R은 쓰루풋이 중요한 반도체 공정에서 중요한 숫자임왼쪽 파이차트: 일반 플라즈마 식각 가스 혼합비중간 파이차트: 연구단계의 저온식각 가스 혼합비 (1세대 저온식각)오른쪽 파이차트: TEL에서 완성한 저온식각 공정 장비 가스혼합비일반적인 식각보다 중간으로 가면 E/R이 2배가 되는데TEL은 중간과정보다 E/R 2배의 개쩌는 공정을 개발해냄E/R이 4배라는 말은 이론적으로 일반 낸드식각 공정보다 최대 4배로 빠르게 같은 깊이를 식각할 수 있다 or 같은 시간에 4배 더 깊이 식각 할 수 있다는 의미실제로는 식각 속도는 기존 공정보다 두배 빠르고 식각 깊이를 25% 더 깊게 에칭할 수 있다 하더라TEL의 주장에 따르면 10um 에칭하는데 33분이 소요되었으며 84% 탄소발자국 감소효과가 있었다고 함통상적인 플라즈마 공정은 7-8um 에칭하는데 1시간 남짓 걸림그림으로 보자면낸드가 이렇게 생겼는데 채널이 더 깊고 빨리 파짐 -> 낸드 단수 높히는데 예전에는 플라즈마 써서 고단화에 애 먹었는데 고단화 비교적 난이도 내려갈 예정TEL 자료 10um 뚫은 인증 + 깨끗하게 뚫린 바닥 사진 + 기술 세부자료불화수소 메인이라 탄소가스 사용절감으로 인한 ESG 점수는 덤결국 쓰루풋 포함 생산성 방면에서 저온식각이 고단 낸드 적층시 플라즈마 식각 대비 우위를 점하고 있기 때문에 현재 낸드식각 주류인 플라즈마 식각장비가 메인인 램리서치나 어플라이드는 TEL에게 고적층 낸드로 갈수록 마켓쉐어 많이 내줄 수 밖에 없다고 생각함. 좀더 자세한 이야기는 이 분이 글 잘 써놨더라https://blog.naver.com/timesight/223163209160 극저온 식각(Etching)의 도입 : NAND 식각 시장에서 가져올 큰 변화극저온 식각 장비의 개발 도쿄일렉트론은 23.06.09에 극저온 식각 장비를 공식적으로 발표하였습니다. &quo...blog.naver.com 작성자 : 방자_올돌골

수능장에 클래식 방송 입갤앱에서 작성

누혜

2019.11.14 07:57:00

조회 175 추천 0 댓글 2

viewimage.php?id=24bed535&no=24b0d769e1d32ca73ced84fa11d0283162f18dd5505eb28abfc2617ab6687bd635e0f194d146b56e3358262ff566e1dba032ae1719f467dc36551c87164e756d7c489842fcee0995ae581ad915a361f54b712d12ad9767fb87d24422

오우 쉣 ㅋㅋ

고정닉 0

원본 첨부파일 1

83f492fb81bf22dcb616072c41375d28.gif

전체 댓글 0개

등록순

본문 보기

타인의 권리를 침해하거나 명예를 훼손하는 댓글은 운영원칙 및 관련 법률에 제재를 받을 수 있습니다.
Shift+Enter 키를 동시에 누르면 줄바꿈이 됩니다.

갤러리 리스트
번호	제목	글쓴이	작성일	조회	추천
설문	경제관념 부족해서 돈 막 쓸 것 같은 스타는?	운영자	24/05/13	-	-
28094	공장같은곳은보니가갈대x임	상궤	19.11.25	147	0
28093	남자바알바가머하는겅;ㅣㅁ [2]	상궤	19.11.25	200	0
28091	기억없이과거로돌아가기 [1]	에루	19.11.25	184	0
28090	빙과에서 좋아하는 대사중에 하나 [1]	ㅊㄴㅋ	19.11.21	311	0
28089	안뇽 [1]	ㅊㄴㅋ	19.11.21	173	0
28088	자동짤되는지확인123123 [2]	에루	19.11.21	173	0
28087	자동짤되는지확인 [1]	에루	19.11.21	163	0
28086	하겐다즈 크림치즈모찌 재발매해라 씨발 [1]	ㅇㅇ(218.54)	19.11.21	191	0
28085	수능 끝났는데 학교 가는거 넘 게갓다 [6]	누혜	19.11.19	203	0
28084	헠ㅋㅋ밖에눈옴ㅋㅋㅋ [1]	상궤	19.11.17	181	0
28083	베라 쿼터 11,500원 이면	ㅇㅇ(116.45)	19.11.17	166	0
28082	주인님이머글거사조슴	상궤	19.11.16	169	0
28081	이거노봇트만와인거23년만에첨알았음 [3]	상궤	19.11.15	159	0
28080	이거갑자기이상해짐 [1]	상궤	19.11.14	174	0
28078	빙과 7권 언제나올까 [2]	이수	19.11.14	309	0
	수능장에 클래식 방송 입갤 [2]	누혜	19.11.14	175	0
28076	호타루는ㅇㅈ이지 [1]	에루	19.11.14	247	1
28075	만와볼거차자슴 [1]	상궤	19.11.13	150	0
28073	4주 남앗다 [2]	우울증	19.11.11	198	0
28071	에루쨩은 에로에로 [1]	유아사쇼코(210.107)	19.11.11	207	0
28068	여기있을게요 [2]	에루	19.11.09	164	0
28067	베루프 시리즈 다 읽었다 [2]	누혜	19.11.06	240	0
28066	허리존나아팟는데 [1]	에루	19.11.06	153	0
28065	대학 생활 탐방기 [1]	ㅇㅇ(112.171)	19.11.04	133	1
28064	잘생긴 남고생 [1]	ㅊㄴㅋ	19.11.03	235	0
28063	속보11월ㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋ [3]	에루	19.11.01	220	0
28059	빙과 재밌다 [2]	ㅇㅇ(39.7)	19.10.31	170	0
28058	2019년10월31일목요일 [2]	피노코	19.10.31	133	0
28057	본인은 중대계획을 발표할것입니다 [2]	피노코	19.10.30	174	0
28055	10월30일 출석체크 [1]	피노코	19.10.30	131	0
28054	10월29일 출석체크	피노코	19.10.29	124	0
28053	로오오오오오옹캣 [2]	누혜	19.10.29	145	0
28052	뒤늦은 10월28일 출석체크	피노코	19.10.28	120	0
28051	갤주왔다 [1]	ㅇㅇ(117.111)	19.10.27	174	0
28050	10월27일출석체크 [1]	피노코	19.10.27	123	0
28049	10월26일 출석체크 [1]	피노코	19.10.26	135	0
28048	10월25일 출석체크	피노코	19.10.25	111	0
28047	위기의쥐새끼 [1]	상궤	19.10.25	111	0
28046	나도곧20년되네 [1]	에루	19.10.25	133	0
28045	치탄다 에루 동생 [2]	피노코	19.10.25	238	0
28044	빙과 20년 다돼감 [1]	ㅊㄴㅋ	19.10.23	214	0
28043	두 사람의 거리추정 애니화되거나 극장판될 킹능성 몇퍼? [2]	ㅇㅇ(210.123)	19.10.23	181	0
28042	뽕따 어디서파는지 아시는 분 [2]	시발뽕따(223.62)	19.10.22	157	0
28041	아니뭔데벌써월요일이냐 [1]	에루	19.10.22	103	0
28040	빙갤러들 일요일 잘보내 [2]	ㄷㄷㄹ(119.196)	19.10.20	134	0
28027	영화랑게임같이트러두고하면더재밋음 [1]	상궤	19.10.18	121	0
28026	빙과 책 읽었는데 이해 안되는거 [9]	ㅇㅇ(175.202)	19.10.17	273	0
28023	우울하다 [2]	ㅊㄴㅋ	19.10.16	159	0
28022	크엇 [2]	에루	19.10.15	157	0
28021	게임이랑노래랑맞춰서함	상궤	19.10.14	127	0