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[일반글] 저온식각 실패할수도있다모바일에서 작성

ㅇㅇ(39.7) 2024.05.19 00:27:34
조회 884 추천 7 댓글 2
														

https://m.dcinside.com/board/tsmcsamsungskhynix/3935?recommend=1#comment_box

 



댓글

이거 아직 모르는 이야기임 설래발 먼저 치지 말라 극저온 식각해도 링깍이는 문제는 여전해서 좀더 두고 봐야 한다던데 저 장비 자기들이 발표한것이지 실 공정에 도입되서 수율이 어찌 될지 아직 모른다


시간당 속도(ER)도 뭐 높음좋겠지만 에치의 퀄리티(aspect ratio)가 훨씬중요할텐데. 저 사진에서 max-btm CD의 델타 값으로 나온 수치가 기존대비 얼마 개선인지가 강조 포인트임. 그게 안나와있으니 설레발은 노노


https://www.dogdrip.net/dogdrip/557746749?comment_srl=30928323&category=18567755&cpage=1

 



댓글

우선 저건 1년전 정도에 VLSI conference였나? 거기서 나온 자료고

본격적으로 알려진건 2년 넘었음.

TEL 특허자체는 2016년부터 시작해서 어느 정도 결과확인되고 문제점 보완해서 장비 선정 완료된 게 2023년 초 정도임.


저 조합으로 VNAND 제조하려고 하는데, 아직 이런저런 문제가 많아서 완벽하게 공정 적용은 안된 상황에다가

TEL에서 저온식각장비 넣는 조건으로 자기네들 장비 계속 끼워팔고 있어서, 앞으로 무조건 잘된다는 보장은 없는 상황임.



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이미 쓰고 있는데 그정도까진 아님

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